近来，市场监管总局同意新建二维线纹基准设备，添补我国校准印象丈量仪、光学显微镜等光学精细丈量设备和高精度光刻机母版制作设备的二维线纹规范器的丈量才能空白，核心技能完成彻底自主可控。

  二维线mm，最优丈量不确定度仅28nm，相当于头发丝直径的2500分之一。该基准设备主要特征是大范围、微尺度、多参量，可为二维尺度、方位及形状供给量值溯源，到达世界领先水平。该基准设备有助于处理亚微米、纳米级光刻机母版的二维线纹“测禁绝”的难题，为电子通讯、轨道交通、航空航天、医疗设备等高端制作范畴精细加工和丈量设备供给技能支撑和保证。